技术参数：

1. 单色化的Al/Ag双阳极靶材。

2. 单色器Al靶能量分辨和灵敏度（Ag3d5/2）80kcps@0.45eV ，450kcps@0.48eV。

3. 最小束斑尺寸为15 μm。

4. 平行成像空间分辨率≤1μm。

5.  UPS的HeI灵敏度≥1Mcps，分辨率≤ 120meV。

功能特点：

1. 常规XPS、微区XPS、深度剖析XPS、角分辨XPS以及XPS成像分析。

2. 配备分析室加热制冷配件。

3. 配备紫外光电子能谱（UPS），可进行价带谱及功函数测试。

4. 配备离子散射谱（ISS），可实现样品表面元素信息的检测。

仪器说明：

Axis Supra X射线光电子能谱仪具有XPS全谱和窄谱分析，不仅可以实现元素的定性以及半定量分析、固体表面分析、化合物的结构分析，还可以进行XPS成像分析。可实现准确测试表面不平整绝缘样品，还可以测试离子散射谱以及紫外光电子能谱。

Axis Supra X射线光电子能谱仪样品制备要求：

1. 样品可以为粉末样品、薄膜样品或块状样品。其中：粉末样品粒度要尽量细，50mg左右即可；薄膜及块状样品做好标记，说明测试面，块状样品尺寸小于5*5*2(mm)（高度不应超过2mm，最好控制在1mm以内）。

2. 尽量保持样品干燥，表面清洁无污染，对于大量放气，尤其是多孔粉状样品，进仪器前应先真空烘干，密封保存送样。

3. 氢元素不能检测，不检测含单质硫、碘、氟、溴的样品（若样品在有硫、碘、溴等单质存在的环境下合成或处理也请在备注中说明并在送样时告知测试老师！！！）。

4. 禁止送有磁性、毒性以及放射性样品。

5. 禁止送易挥发，在超高真空状态下大量放气的样品，尤其是具有腐蚀性气体的样品。

6. 表面清洁或是深度剖析时本设备使用的是四型离子枪，对于高分子、有机物等不耐轰击的样品请慎重测试（因为四型离子枪能量比较高在做清洁或是剖析时容易导致高分子、有机物样品成分和结构发生变化）。

7. UPS测试样品必须新鲜、导电。

预约送样流程：

1. 预约：请登陆天津大学大型仪器管理平台（yiqi.tju.edu.cn），了解相应测试对样品制备方面的要求，在相应设备下点击“送样”，填写相关信息，如有特殊测试要求请注明，点击“保存”后提交送样预约信息（UPS测试的需要再单独找老师当面预约）。

2. 送样：送样申请状态若变为“已批准”，则可打印送样单送样至北洋园31-108室（送样时间为每周一、周三上午8:30-11:30）。

3. 样品袋上请标明送样人姓名及样品编号，尽可能注明样品组成（结构式最佳），如果有碳化物须注明。

4. 送样申请状态若变为“已测试”，则测试数据可在送样申请单中查看并下载。样品数据为VMS格式的原始数据，可以用Casa XPS软件打开；命名格式为“送样人姓名首字母缩写-样品编号”。

5.取样：注明要回收的样品请务必在收到数据后一星期内将样品取走，逾期样品会被处理掉。