技术参数：

1. 分辨率：1.0nm（15kv），2.0nm（1kv）。

2. 放大倍率：20~80万倍

3. 加速电压：0.5~30kv，0.1kv/步

4. 束流强度：1pA~2nA。

5. 样品室：  最大样品尺寸100mm

6. 能谱仪探测器活区面积：10mm2；能量分辨率：Mn Ka优于129eV；元素分析范围Be4~U92

功能特点：

1. 高分辨模式，高束流模式。大工作距离模式，磁性样品模式等多种工作模式。

2. 采用新型E×B式探测器，可选择接受二次电子像或背散射像。

3. 配有电子束减速功能，提高了图象质量。
4. 配有电制冷能谱仪，可进行定点元素成分定性和无标样定量分析，并进行元素线扫描、面分布的分析。

仪器说明：

1.     冷场发射扫描电镜发射阴极的发射面积较小、能量集中，可将电子束聚焦于一个很小的点，以获得高分辨率图像。扫描电镜能够直接观察样品表面的结构，样品的尺寸可大至100mm，样品制备过程简单，可以在样品室中作三度空间的平移和旋转，因此，可以从各种角度对样品进行观察。图象的放大范围可放大十几倍到几十万倍。在观察形貌的同时，可利用配备的能谱仪作微区成分分析。

2.  冷场扫描电镜是一种用于高分辨微区形貌分析的大型精密仪器。具有景深大、分辨率高、成像直观。立体感强、放大倍数范围宽以及待测样品可在三维空间内进行旋转和倾斜等特点。可测样品种类丰富，几乎不损伤和污染原始样品以及可获得形貌、结构和成分信息等优点，广泛应用于材料科学、生命科学等领域的微观研究。

S4800冷场发射扫描电子显微镜样品制备要求：

扫描电镜样品必须是干燥、不易挥发、对磁场不敏感的固体。

1.  块体样品

1） 首先判断样品是否具有磁性特性，若有会对物镜的磁场有影响，像散不易消除彻底，降低分辨率。并且磁性样品容易被物镜的强磁场磁化吸走，要充分固定粘牢

2） 如果是金属样品可以直接用导电胶带粘在样品托上进行观察

3） 半导体可以对观察部位进行导电处理，用一条导电胶带将观察部位与样品台相连。

4）绝缘体样品可以进行喷金或喷碳的表面处理，也可以不进行处理直接在低电压模式下观察。

2.  薄膜样品

1） 首先用磁力棒判断样品对磁场的敏感情况，如果有吸引力，则该样品会对物镜的磁场有影响，会降低分辨率，并且容易被物镜的强磁场吸走，对物镜造成损伤，不予检测。

对磁力棒没有反应的样品，

2） 如果薄膜为导电膜或半导体，基体也是导体或半导体，可以直接观察。

3） 如果薄膜为导电膜或半导体，而基体为半导体和绝缘体，可以对薄膜层进行导电处理，即用一条导电胶带将观察部位与样品台相连。

4） 如果薄膜为绝缘体，则需要进行喷金或喷碳处理，也可以在低电压模式下直接观察。

3.  粉末样品

1） 首先要判断粉末是否具有磁性特性，电磁透镜的磁场会将粉末磁化吸进物镜内，严重降低电镜的分辨率，不予检测。

2） 粉末颗粒较粗大的，可以将粒子直接在导电胶上撒粉，用吸尘器吸半分钟，吸走没有粘牢的粉末。

3） 粉末颗粒细小的，常常是以互相粘附的二次粒子状态存在，,可将粉末颗粒放在酒精中 (必要时加入少许分散剂如偏磷酸钠等)，并用超声波振荡器使其分散均匀。用牙签粘上少许酒精在导电胶或样品台表面上留下一层较均匀的粉粒，并用电热风吹干。

预约流程：

1.     预约：请登陆天津大学大型仪器管理平台(yiqi.tju.edu.cn),在“仪器目录”中搜索-仪器联系人查找相关仪器，在仪器公告栏了解相关测试要求并预约仪器机时。

2.     自行准备样品台（从网上或电镜室购买）制备样品，在预约时间登陆仪器电脑上的客户端进行测试，电镜在公共开放时间（9:00~12:00；13:00~16:00）由专职操作员操作仪器。

3.     收费标准在天津大学大型仪器管理平台相关仪器的公告中可查询。