技术参数：

1. 离子源：两支TrueFocus聚焦离子源，离子束角度、束斑大小均可调节，可变能量范围100 eV到10 keV ，最大束流密度可达10 mA/cm²，抛光角度 0° 到 +10˚连续可调，离子束斑直径300 µm ~ 5 mm连续可调，两支离子枪能量可独立调节，自由选择单枪或双枪工作模式；

2. 样品台：样品尺寸要求横截面切割： Max 10x10x4mm，平面抛光：32mm直径 x 25mm 高，

样品可360˚旋转且转速可调，同时样品台可摇摆，磁编码器提供绝对定位精度

3. 液氮冷台：内置超大杜瓦瓶，保持液氮低温18小时以上，具备自动程序化控温设计；

4. 自动终止：可根据时间、温度自动终止；

5. 真空系统：分子泵加多级无油隔膜泵两级真空系统；

6. 气源：99.999%高纯氩气，使用压力 15 psi,配备精确气体质量流量计,实现离子源气流的精密。

7. 用户界面：10英寸触屏设计，可实现配方编程控制；

8. 样品照明方式：配置体式显微镜内置照射光源，为使用者提供自上而下的照明，以供使用者用作反射光的照明使用。

功能特点：

1. 两支独立可调电磁聚焦离子枪。同时具备高能量(快速抛光)和低能量(精细修复)；

2. 超宽加速电压范围：100eV到10kV，不同加速电压下，离子束束斑均保持最细最优束斑状态；

3. 每支离子枪均配备对应法拉第杯进行离子束直接探测，可以精确优化并控制束斑尺寸大小，实现离子束斑直径300 µm ~ 5 mm连续可调，为特殊试验需求提供试验条件；

4. 自动独立气源控制；

5. 抛光角度范围：0°到 +10°连续可调；

6. 具备原位实时观察及记录减薄过程功能；

7. 截面切割+大尺寸平面抛光两种功能，样品可360°连续旋转或摇摆，离子束自动避让样品夹；

8. 液氮冷台传导制冷方式，带内置杜瓦瓶和自动温度连锁控制，杜瓦瓶设计更接近操作者，方便工作。在室温和液氮温度之间，可以选择保持任意温度恒定；

9. 可通过时间或温度自动停止；

10. 采用可调节10英寸触屏控制系统，人机界面友好，操作简洁。

仪器说明：

SEM Mill 作为采用尖端技术制造的离子束切割抛光系统，提供可靠、高性能的样品制备能 力，能够在最短时间内解决各类扫描电镜制样困难材料的制样问题，同时具备紧凑、精确以 及高稳定性的优点。该设备通过将氩气离子化后，在电场加速作用下轰击到样品表面，利用动量转移的方式进行可控速率条件下，物理溅射轰击的方式对样品表面进行精细抛光处理，满足扫描电镜/EBSD等表面敏感分析技术制样需求。

SEM Mill 精密氩离子束抛光仪样品制备要求：

1. 样品规格标准：截面样品：最大：10×10×4mm，最小：3×3×0.7；平面样品：最大：32×25mm；

2. 离子束抛光前样品需经精密的机械抛光，机械抛光的质量直接影响离子束抛光效果。

3. 样品最好为新制样品并经真空保存送样，离子束抛光结束后及时完成电镜观察，以免样品氧化影响观察效果。

预约送样流程：

1. 预约：请登陆天津大学大型仪器管理平台(yiqi.tju.edu.cn),了解相应测试对样品制备方面的要求，在相应设备下点击“送样”，填写相关信息，如有特殊测试要求请注明，点击“保存”后提交送样预约信息。

2. 送样：样品制备好后，将待测样品信息（送样人姓名、导师姓名、样品信息、送样人联系电话）单独备注并与样品一起送至仪器室（31号楼107房间）。

3. 取样：测试完成后将通过天津大学大型仪器管理平台上传至预约送样处，收到信息即可取回样品。