技术参数：

1. 分辨率：点分辨率0.11nm，线分辨率0.10nm

          扫描透射像0.08nm，透射像0.19nm

2. 放大倍率：扫描透射像200～150,000,000x

            透射像50～2,000,000x

3. 加速电压：80kV, 200kV

4. 倾斜角：X/Y最大±25°

功能特点：

1. 肖特基场发射电子枪，UHR极靴。

2. 束斑最小直径0.1nm，束流细而亮，电流密度高。

3. 配备电子束球差校正系统，使扫描透射像分辨率达到0.08nm，可实现原子水平的分析和成像。

4. 配备了STEM明场和暗场探头以及EDS探测器，可获得HAADF和BF/ABF图像，以及进行线性扫描和面扫描分析。

5. 电气稳定性和机械稳定性比传统透射电镜更高，同时配备热屏蔽和磁屏蔽系统，降低外部环境影响，提高设备稳定性。

仪器说明：

JEM-ARM200F球差校正场发射透射电子显微镜由日本电子株式会社生产，以场发射电子发射体发射电子，通过电磁透镜控制电子束汇集成很小的束斑并照射样品，同时利用球差校正器将电磁透镜中的球差消除，可将图像的分辨率和分析能力提高到原子水平，实现原子级分辨率的成像和成分分析。

球差校正透射电子显微镜样品的制备要求：

球差校正透射电子显微镜的制样要求和普通透射电子显微镜的制样要求基本一致（对电子束透明，厚度在100nm以下），样品需要干净、干燥、无污染、分散性较好。

球差电镜对样品的特殊要求如下：

1.    粉末样品：常采用直径为3mm的微栅或超薄碳膜载网，根据样品颗粒大小选择合适的载网类型。

2.    块体减薄样品或FIB样品，为直径3mm的圆形或半圆形样品。和普通透射样品的制样要求相同。

3.    在测试前，务必先在普通透射电镜上筛选一下样品。

预约送样流程：

1. 预约测试前，需与设备管理员当面或电话沟通（022-85356424），了解样品情况及具体测试需求后，由设备管理员安排测试时间。

2. 测试数据可上传至天津大学大型仪器管理平台，或用光盘拷贝。