技术参数：

1. 分辨率：0.8nm (15kV)，1.2nm (1kV)

2. 放大倍数：25~1000,000x

3. 加速电压：0.01~30kV

4. 束流强度：200nA (15kV)

功能特点：

1. 配备LED和UED探头，可进行SEM、GB等不同多种工作模式间的切换，实现高倍率二次电子图像的采集。

2. 配有背散射探头，可进行背散射电子图像的采集。

3. 结合EDAX的能谱探测器，可进行成分分析，以及元素的线扫描、面分布分析。

4. 配备EBSD探测器，可实现材料的晶粒取向、晶粒间的取向差、相分布以及取向关系的分析等。

仪器说明：

JSM-7800F热场发射扫描电子显微镜，不仅可进行高分辨率二次电子图像和背散射电子图像的采集，还可以获得材料微观尺度的结构、成分等信息，同时还可进行材料的电子背散射衍射分析，实现多种分析功能。

热场扫描电子显微镜样品的制备要求：

1. SEM样品要求

（1）块体样品：金属块体样品可用导电胶直接固定在样品台上，导电性差或不导电的样品可进行表面喷金或喷碳处理后再进行观察。注意所有样品务必粘附牢固，以防掉落电镜样品仓。

（2）粉末样品：在样品台上涂覆一层薄薄的液体导电胶，将少许粉末洒落在液体导电胶上，然后用洗耳球吹扫样品台表面，吹扫掉粘附不牢的粉末。

此扫描电镜制样的特殊要求如下：

1）由于此扫描电镜真空度要求高，而镶嵌样品的气孔较多，使得电镜达到目标真空值的时间较长，故不接收镶嵌样品的测试；

2）粉末样品需采用液体导电胶制样；实验室可提供液体碳胶。不接收强磁性粉末样品的测试。

2. EBSD样品要求：

（1）尺寸要求：样品测试时需固定在直径为12.5mm的样品台上，故一般样品尺寸需小于8.5mm×8.5mm，高度需小于8mm（可以尽量薄）。

（2）表面要求：样品表面要求新鲜、洁净、无污染，表面不能有残余应力（常采用机械抛光、电解抛光或离子抛光制样），样品导电性良好。

预约流程：

1. 最早可提前7天，登陆天津大学大型仪器管理平台(yiqi.tju.edu.cn)预约相应时间段的测试，一小时为一时间段；最晚可提前3小时删除预约。

2. 周一到周四为可预约时间段，有值班操作人员；周五、周六为课题组固定时间，不对外开放预约。

3. 测试完成后，数据可上传至天津大学大型仪器管理平台，或用光盘拷贝。

4. 收费标准：SEM、EDS或EBSD测试，均按照测试机时收费。具体收费标准登录仪器网查看。