技术参数：

1. 保证30 kV电压时，二次电子3.0 nm的分辨率，背散射电子4.0 nm（6帕）

2. 样品室：可满足直径153 mm，高60 mm的样品

3. 采用TMP真空系统，节省占地面积和电源功耗

4. 硅漂移电制冷能谱探测器;10mm2有效超薄窗面积;Mn~Ka(5,89kcV)能量分辨率优于128cV 峰背比⒛,OO0∶ 1;可测量Bc及以上原子序数元素

功能特点：

1. 可以导电样品进行形貌观察，操作简单，分辨率可达到3.0nm

2. 配置相应二次电子及背散射电子探头，可同时呈现二次电子及背散射电子图像

3. 配有IXRF电制冷能谱仪，可进行定点元素成分定性和无标样定量分析，并进行元素线扫描、面分布的分析。

仪器说明：

 钨灯丝扫描电镜分辨率可达3.0nm, 仪器放大倍数变化连续可调，因此可以根据需要选择大小不同的视场进行观察，观察样品的景深大, 视场大, 图像富有立体感, 可直接观察起伏较大的粗糙表面和试样凹凸不平的金属断口象等，样品的尺寸直径可大至100mm，具有放大倍数范围宽以及待测样品可在三维空间内进行旋转和倾斜等特点，并可以利用配备的能谱仪作微区成分分析。适合导电样品，对样品磁性不敏感。几乎不损伤和污染原始样品以及可获得形貌、结构和成分信息等优点，广泛应用于材料科学、生命科学等领域的微观研究。

HITACHI SU1510钨灯丝扫描电子显微镜样品制备要求：

钨灯丝扫描电镜样品必须是干燥、不易挥发的样品。

1.  块体样品

1） 钨灯丝扫描电镜的物镜设计是外透镜模式，样品位于电磁透镜磁场外部，因此样品具有磁性不会对物镜磁场有干扰，可以进行测试。

2） 如果是金属样品可以直接用导电胶带粘在样品托上进行观察

3） 半导体可以对观察部位进行导电处理，用一条导电胶带将观察部位与样品台相连。

4） 绝缘体样品可以进行喷金或喷碳的表面处理后再测试，

2.  薄膜样品

1） 如果薄膜为导电膜或半导体，基体也是导体或半导体，可以直接观察。

2） 如果薄膜为导电膜或半导体，而基体为半导体和绝缘体，可以对薄膜层进行导电处理，即用一条导电胶带将观察部位与样品台相连。

3）如果薄膜为绝缘体，则需要进行喷金或喷碳处理

3.  粉末样品

1） 粉末颗粒较粗大的，可以将粒子直接在导电胶上撒粉，用吸尘器吸半分钟，吸走没有粘牢的粉末。

3） 粉末颗粒细小的，常常是以互相粘附的二次粒子状态存在，,可将粉末颗粒放在酒精中 (必要时加入少许分散剂如偏磷酸钠等)，并用超声波振荡器使其分散均匀。用牙签粘上少许酒精在导电胶或样品台表面上留下一层较均匀的粉粒，并用电热风吹干。

预约流程：

1.     预约：请登陆 (yiqi.tju.edu.cn),在“仪器目录”中搜索-仪器联系人查找相关仪器，在仪器基本信息栏和公告栏了解相关信息和测试要求并预约仪器机时。

2.     自行准备样品台（从网上或电镜室购买）制备样品，在预约时间登陆仪器电脑上的客户端进行测试。

3.     电镜每年暑假后会安排仪器操作培训，下一学年度有测试需求的同学可以报名参加培训，考核通过后自主操作仪器做测试，

4.     收费标准在天津大学大型仪器管理平台相关仪器的公告中可查询。