设备名称：四探针测试仪

型号：ST2253

设备管理员：李晓晖，lixiaohui@tju.edu.cn

放置地点：北洋园31-118

使用课程：材料物理性能实验

技术参数：

1. 测量范围

电阻率：1×10-4~2×105 Ω·cm

方块电阻：1×10-3~2×106 Ω/□

电阻：1×10-4~2×105 Ω

2. 可测半导体材料尺寸

直径： Φ15~130 mm

长(或高)度：≤160 mm

3. 四探针测试探头：

⑴探针间距：1mm

⑵探针机械游移率：±1.0%

⑶探针：碳化钨

⑷压力：0~2kg可调,最大压力约2kg

功能介绍：

ST2253型数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量装置，它可以测量片状、块状半导体材料的径向和轴向电阻率，测量扩散层的薄层电阻（亦称方块电阻）。换上特制的四探针测试夹具，还可以对金属导体的低、中值电阻进行测量。

操作方法：

1. 测试准备：

将电源插头插入电源插座，电源开关置于断开位置。 将测试探头的插头与主机的输入插座连接起来，测试样品应进行喷砂和清洁处理，（选配测试台的将样品放在样品架上），调节室内温度使之达到要求的测试条件。将电源开关置于开启位置，数字显示亮。

2. 测量： 将探针与样品良好接触，注意压力要适中。 选择显示电流，置于样品测量所适合的电流量程范围，电流调节电位器调到适合的电流值。 选择显示电阻率或方块电阻，即可由数字显示窗直接读出测量值，如果显示“F”，表示超出量程范围，应降低电流量程。按下电流极性按键，从数字显示窗和单位显示灯可以读出负极性的测量值；将两次测量获得的电阻率值取平均，即为样品在该处的电阻率或方块电阻值。